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半导体制造行业对精度、速度以及明净度要求特别高。因为氛围轴承具有明净度好、一再性好、速度高、刚度大、零摩擦、零颠簸与低噪音等特性,是以特别符合用于半导体制造领域。一般氛围轴承可以用在晶圆切割、晶片检测、晶片修复、减薄、刻蚀等诸多领域。